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西安奕斯伟请求外延晶圆及其缺点的评价办法等专利可确认外延晶圆是不是真的存在因金属集合而呈现的金属集合型缺点
时间: 2024-12-26 06:14:09 | 作者: 华体会app怎么样
金融界2024年11月4日音讯，国家知识产权局信息数据显现，西安奕斯伟资料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技能有限公司请求一项名为“外延晶圆及其缺点的评价办法、设备、设备及介质”的专利，揭露号CN 118888465 A，请求日期为2024年6月。
专利摘要显现，本揭露供给了一种外延晶圆及其缺点的评价办法、设备、设备及介质；该办法有：经过粒子计数器获取待测外延晶圆的雾度图；将所述雾度图依照设定的网格尺度区分得到所述待测外延晶圆的网格雾度图；依据所述网格雾度图中每个网格的雾度最大值确认所述待测外延晶圆是不是真的存在因金属集合而呈现的金属集合型缺点。
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